报告人：邓晓  同济大学物理学院　

时 间：2023年11月22日 19:30~20：30

地 点：粤海校区致原楼 1214会议室

报告摘要：

集成电路微纳检测设备产业是把核心的原材料与零部件，结合技术和软件集成后开发微纳检测设备产品为芯片中的晶圆制造工艺服务。纳米长度计量体系是集成电路微纳检测设备量值溯源，误差控制与测量准确性的核心支撑。对自然界常数的物化、量传和复用是提升测量准确性的有效手段。自溯源标准物质是指物质的关键参数可以溯源到自然界常数的标准物质。汇报人将介绍基于铬原子光刻技术研制纳米长度标准物质、自溯源位移传感器及新型计量型AFM的研究思路与成果。系列光栅的准确性水平得到国际权威机构计量认可，并获批多项国家标准物质。系列可以溯源到铬原子跃迁频率的标准物质、位移传感器与计量仪器有望构建新型自溯源纳米长度计量体系。

报告人简介：

邓晓，同济大学物理学院副教授，博士生导师，主要研究方向为集成电路量检测设备的长度计量测试技术等。分别于2011年、2016年在同济大学获学士与博士学位，博士期间曾赴美国国家标准与技术研究院（NIST）留学两年。2021年入选中国科协“第六届青年人才托举工程”，2023年入选上海市青年科技“启明星”人才计划，是全国新材料与纳米计量技术委员会委员。作为项目负责人主持国家重点研发计划项目2项（其中1项为青年科学家项目）、基金委面上与青年项目各1项。研究成果获批国家一级标准物质2项、国家二级标准物质2项，近五年共发表SCI论文25篇；申请中国发明专利10项（授权4项）；申请美国发明专利2项（授权1项）；参与起草国家标准与国家计量技术规范各1项。